可以測量到的真空壓力范圍,已經覆蓋從大氣壓(約 1000 mbar / 750 Torr)直到 10-12 mbar / 0.75 · 10-12 Torr,即15個數量級。用于測量如此大范圍真空壓力的儀器被稱為真空計。但由于物理條件的限制,不可能僅依靠一種真空計來定量測量全部真空壓力范圍。因此,就需要用到各種各樣的真空計產品,而每一種都有它最合適的測量范圍,通常都會覆蓋幾個數量級。
殘余氣體分析儀LEYSPEC view 100
產品號 | 220010V01 |
探測器: | 法拉第杯 |
接口法蘭: | DN 40 CF |
操作溫度: | 10 - 40 °C |
最大探測溫度: | 120 °C |
最大操作壓力: | 1 x 10-4 mbar |
最小可檢測分壓: | 1 x 10-10 mbar |
靈敏度: | 1 x 10-5 A/mbar |
質量范圍 (amu): | 1-100 |
質量過濾器: | 四極質譜儀(QMS) |